
API激光干涉儀XD LASER核心特性
1. 多維度測量能力
6D 型號:一次安裝同時測量 6 個參數:
線性定位誤差 (1 個位置度)
兩個方向直線度 (XX 和 YY 方向)
偏擺角和俯仰角 (兩個角度)
滾動角 (1 個角度)
API激光干涉儀XD LASER型號對比:
型號測量參數
1D定位誤差、重復定位精度、反向間隙、速度、加速度
3D1D 參數 + XX 和 YY 方向直線度
5D3D 參數 + 偏擺角、俯仰角
6D5D 參數 + 滾動角
2. 精度
線性精度:0.5ppm (每米 0.5 微米)
測量范圍:標準 40 米 (1D 可選 80 米)
線性分辨力:0.001μm (納米級)
角度精度:
偏擺 / 俯仰:(1.0+0.1/m) 角秒或 1% 顯示值
滾動角:1.0 角秒
垂直度:±1 角秒
3. 創新設計
緊湊集成:主機集成干涉鏡,無需單獨架設,總重僅 4.2kg
兩點式對光:摒棄傳統三腳架,簡化安裝流程
內置無線通信:增強連接穩定性,減少線纜干擾
蘇公網安備32021402002647